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分子泵操作注意事項(xiàng)(二手分子泵)
分子泵操作注意事項(xiàng)(二手分子泵)
渦輪分子泵在操作時(shí)應(yīng)該的注意事項(xiàng):
1、不能在前級(jí)泵工作時(shí)(前級(jí)管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉,否則將會(huì)使油蒸氣迅速?gòu)那凹?jí)管路返流到泵的清潔端。
2、分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前,一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉,且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級(jí)管路進(jìn)行充氣。
3、選擇系統(tǒng)前級(jí)泵的大小時(shí),應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流狀態(tài)下。
4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)行。
5、分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng),以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。
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