如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）

 (1)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-為什么要充氣？      

      當渦輪分子泵關閉或運轉極慢時，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內壓力梯度）來阻止前級側存在的碳氫化合物通過渦輪葉片向真空室進行返流。這種現(xiàn)象稱作反擴散或分子返流。在靜態(tài)條件下，整個系統(tǒng)的壓力均衡時，在前級管道側，油的分壓力通常為10-4～10-6Torr（或 13.33mPa～133.3μPa）*后也會波及到泵的入口處。當泵關閉時，適當?shù)亟o泵內充氣是控制油分子返流，保持真空室內無碳氫化合物的一種有效的措施。     

當停泵后，碳氫化合物返流很快通過泵進入真空室內，如果系統(tǒng)仍保持在真空狀態(tài)下，碳氫化合物將會粘在清潔的葉片和真空室的表面上。在隨后再運轉該系統(tǒng)時，將極難抽除粘著的碳氫化合物。另一方面，在渦輪分子泵停止運轉時，如果給泵充入干燥氮氣或干燥空氣，則該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護層，而且在系統(tǒng)充氣后，返流的碳氫化合物由于與充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱，在混合氣體中碳氫化合物所占比例極小，在下一次抽空時也很快就能被抽走。    

   (2)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-延遲充氣：     

 雖然在泵斷開電源后就應給泵充氣已被大家所接受，且很平常，但是，渦輪分子泵在切斷電源后，泵要漸漸地減速，若延遲幾秒或幾分鐘再充氣會更好一些。在泵減速到它平時速度的30%～50%期間，此時泵仍能起到抽氣和壓縮作用。能有效地使真空室處在真空狀態(tài)下且能防止碳氫化合物的返流。延遲充氣也能使閥門有足夠的時間關閉，在經常停電的情況下，延遲充氣是很有用的。為了延遲充氣，前級真空必須維持在 1～1000μmHg（1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa～133.3Pa）范圍之內，所以在渦輪分子泵與前級泵之間必須有一個真空閥，或者在前級泵內部裝一個控制閥，該閥應在電源中斷時，使渦輪分子泵與前級泵隔離開來。否則，通過前級泵、前級管道被充氣，并導致了油的污染。      

 (3)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-在何處充氣？      

在渦輪分子泵的前級側充氣，能強制使碳氫化合物立刻通過渦輪分子泵流入真空室。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側充氣，能達到以清潔氣體覆蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵（自上而下），能暫時阻止、延遲碳氫化合物的返流，也有些渦輪分子泵在壓縮級之間進行中間充氣，它和在吸入側充氣控制碳氫化合物返流幾乎同樣有效。在超高真空系統(tǒng)中，在壓縮級充氣尤其優(yōu)越。因為中間充氣不需要價格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。 

 (4)如何給渦輪分子泵充氣（分子泵維修）-怎樣充氣？     

 如果渦輪分子泵置于一個清潔、干燥的周圍環(huán)境中，就可以充室內的空氣。然而充氣入口的位置必須仔細選擇。如果充氣入口位置靠近油封式旋片泵的排氣口位置之上，則充入的氣體中會含有油蒸汽勢必會對真空系統(tǒng)造成污染，而且如果空氣是濕的，為了減少以后再抽氣的時間，于是要充入干燥氮氣或經過干燥器過濾的空氣。另外也不一定總是充入大氣壓力下的氣體，若充入氣體的壓力為幾Torr（幾hpa）的干燥氣體就足以能控制碳氫化合物的返流。

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