Agilen安捷倫TPS-flexy TV84FS分子泵機(jī)組維修-Varia渦輪分子泵系統(tǒng)保養(yǎng)-安捷倫TwisTorr 84FS儀用渦輪分子泵

Agilen安捷倫TPS-flexy TV84FS分子泵機(jī)組保養(yǎng)，Agilen TPS-flexy TwisTorr 84 FS  Turbo Pumping Systems自由組合式分子泵系統(tǒng)是由安捷倫TwisTorr 84 FS渦輪分子泵和MD10/M8等前級真空泵組成，進(jìn)氣法蘭口KF40/ISO63/CFF4,抽速可達(dá)到38 L/s - 52 L/s，KF40/ISO63法蘭口真空度2X10-7 mbar, CFF4法蘭口真空度5X10-8 mbar。

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