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Seiko Seiki STP-H1303CV3精工精機(jī)磁懸浮分子泵維修,Seiko Seiki STP-H1303CV3C日本精工精機(jī)磁懸浮分子泵進(jìn)氣法蘭口VG200/ISO200/ISO200F,出氣法蘭口KF40,抽速可達(dá)到1300 L/s,轉(zhuǎn)速為32500rpm,極限壓力10-7Pa (10-9Torr),日本精工精機(jī)STPA1303C分子泵保養(yǎng)對應(yīng)的控制器為:Seiko Seiki STP-A1303C
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