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Seiko Seiki STP-H451C精工精機分子泵維修，Seiko Seiki STP-451C日本精工精機分子泵進氣法蘭口ICF203/VG150/ISO160，出氣法蘭口KF25，抽速可達到480 L/s，轉速為48000rpm，，VG/ISO法蘭口極限壓力6.5 x 10-6Pa (5 x 10-8Torr)，ICF法蘭口極限壓力10-7Pa (10-9Torr)，Seiko Seiki STP-H451C1 TURBO pump對應的控制器為：Seiko Seiki SCU-451
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