渦輪分子泵的缺點(diǎn)（Pfeiffer普發(fā)分子泵維修）

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點(diǎn)。

(1) 設(shè)備費(fèi)用高

在抽速大于1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴(kuò)散泵和低溫泵的設(shè)備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴(kuò)散泵和低溫泵的特殊場(chǎng)合下它是很好用的。若與小型或中型擴(kuò)散泵相比，小渦輪分子泵是相當(dāng)貴的。然而考慮到擴(kuò)散泵系統(tǒng)需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費(fèi)來(lái)計(jì)算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

（2) 對(duì)顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片）落入正在運(yùn)轉(zhuǎn)的渦輪分子泵中，渦輪會(huì)遭到損壞，往往需返回制造廠進(jìn)行維修。一旦出事故損壞就是嚴(yán)重的，不會(huì)有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作**起見，在泵入口處裝上細(xì)孔眼的過(guò)濾網(wǎng)，以保護(hù)泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。這種措施對(duì)泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會(huì)造成對(duì)葉片的磨損和通道堵塞，也會(huì)影響轉(zhuǎn)子的不平衡。如果一些粒子進(jìn)入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應(yīng)用中，安裝保護(hù)措施是必要的。

(3) 噪音與振動(dòng)

從使用經(jīng)驗(yàn)來(lái)看，泵會(huì)出現(xiàn)振動(dòng)和噪音問(wèn)題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現(xiàn)的問(wèn)題。在正常的工作中，泵處于平靜的狀態(tài)，*大振幅在0.1～0.001 μm(即100～1 nm)之間,在某些精密設(shè)備上得到應(yīng)用。而測(cè)不出易覺(jué)察的振動(dòng)。對(duì)渦輪分子泵進(jìn)行頻譜分析。振動(dòng)速度V 的單位為μm/s，頻率的單位為Hz，計(jì)算振幅可用公式：d=V/2πf，式中d 為振幅μm，f 為頻率Hz，產(chǎn)生的*大振幅＜0.005 μm（＜5 nm）如此小的振動(dòng)，渦輪分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)很平穩(wěn)，噪音很小,對(duì)某些特殊應(yīng)用也是問(wèn)題。


(4) 破碎問(wèn)題

有些用戶由于害怕轉(zhuǎn)子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現(xiàn)破碎的。通常要有保護(hù)措施，如在入口處加過(guò)濾網(wǎng)，破碎通常是可以避免的。

(5) 暴露大氣易引起事故

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