渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)（分子泵維修）

 由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴(kuò)散泵表現(xiàn)得更優(yōu)越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點(diǎn)有：

(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳?xì)浠衔?。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑軸承，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現(xiàn)，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵


(2)使用方便

在許多應(yīng)用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統(tǒng)可以通過渦輪分子泵進(jìn)行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統(tǒng)所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直±5°范圍內(nèi)工作）。這個特點(diǎn)，可用于安裝位置受限制的地方。

(3)氣體輸送能力強(qiáng)

大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴(kuò)散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標(biāo)準(zhǔn)的未加保護(hù)的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內(nèi)積存。因而它適于氣體負(fù)荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。

(4)適于超高真空應(yīng)用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空度一般可達(dá)到10- 9～10- 10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1×10- 10～1×10-11 Torr （即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運(yùn)轉(zhuǎn)。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳?xì)浠衔铮?，顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質(zhì)譜儀，分子束外延設(shè)備及超高真空分析儀器等設(shè)備上的。

(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運(yùn)行。在這個壓力范圍內(nèi)，離子泵不能應(yīng)用，對于低溫泵需要節(jié)流抽速或經(jīng)常再生，對擴(kuò)散泵的工作也會變得不穩(wěn)定。

(6)循環(huán)的時間短

多數(shù)渦輪分子泵，尤其小一些的，要達(dá)到正常的運(yùn)行速度的時間，一般需要1～3 min。對于不同品種和型號的泵有所不同。并且能立即關(guān)閉，并可暴露大氣。這種快速循環(huán)特性在樣品輸入系統(tǒng)中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。

(7)正常使用時間長

在某些應(yīng)用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優(yōu)越。因?yàn)樵谥貧怏w負(fù)荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經(jīng)常不定時的再生或離子泵經(jīng)常修復(fù)，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

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