分子泵過熱原因

1、分子泵漏氣（包括管路接口），其主要現(xiàn)象表現(xiàn)為電流過高，且分子泵的轉(zhuǎn)速低于額定轉(zhuǎn)速，真空度不穩(wěn)定；

2、冷卻水有問題，主要現(xiàn)象是溫度高，電流率高，真空度無影響；

3、軸承問題，使用時間過長或內(nèi)部較臟，需要進行保養(yǎng)，更換新的軸承；

4、動平衡跑掉，現(xiàn)象是運轉(zhuǎn)過程噪音高，泵體發(fā)熱，真空度影響不大，但要注意觀察，容易發(fā)生葉片打碎現(xiàn)象；

5、內(nèi)部較臟，特別是制成物堆積過多造成運轉(zhuǎn)不暢，導致電機高負載，運轉(zhuǎn)發(fā)熱；

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