極高真空技術(shù)及其應(yīng)用

真空浸泡后油峰有所增加的事實表明，從油蒸氣對容器所造成的污染來說，除泵正常運轉(zhuǎn)中的返流外，在系統(tǒng)沒有隔離閥的情況下，主要是系統(tǒng)在真空浸泡期間發(fā)生的。因為這時泵已停止工作，失去了抽氣作用，而系統(tǒng)仍處于真空，原先吸附障板冷面上的大量返流物會因升溫而解吸，幾乎是毫無阻礙地返進容器重又吸附于器壁上。這樣，在下一次運轉(zhuǎn)中，由于污染物的解吸很緩慢，使系統(tǒng)的清潔程度變壞，也大大延長了抽氣時間。此外，真空靜置期間，泵液也可能通過蒸發(fā)、爬移等途徑對容器壁造成污染。克服這一問題的方法除在系統(tǒng)中設(shè)置隔離閥外，簡便可行的方法是采用充氮保護。

        通過實驗研究，得到如下幾點結(jié)論：

        ①由機械泵和擴散泵組成的抽氣系統(tǒng)中，若不采取阱、障板等降低泵液返流措施，擴散泵和機械泵工作液的返流是限制系統(tǒng)極限壓力的主要因素之一。

        ②氟里昂單層人字形障板和設(shè)計良好的液氮冷阱能有效地降低泵液返流，其捕獲效率分別大于0.9和0.99

        ③烘烤是去除表面污染和降低表面放氣的有效方法。250℃，8h烘烤，結(jié)合障板和阱的效果，能獲得好于3.06×10-8Pa酌真空，剩余氣體中泵液污染物檢測不到。估計泵液返流率<7×10 -12g/min．cm/。剩余氣體主要組分是H2（約占78.3%），其次是C、CO和N2。C主要來自鎢燈絲。

        ④泵液對容器的污染除泵正常運轉(zhuǎn)外，主要是系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)期間原來冷凝于阱中的大量冷凝物的解吸，以及真空靜置期間油的蒸發(fā)爬移。在容器與阱間設(shè)有隔離閥的情況下，采用充氮保護運轉(zhuǎn)方法能有效地降低上述污染過程。

        ⑤真空浸泡是降低表面放氣的簡便方法，既縮短了抽氣時間，又提高了極限真空度。

        值得提出的是：用油擴散泵抽氣系統(tǒng)完全能夠獲得既清潔、油污染又小的真空環(huán)境。它有賴于合理的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和正確的運轉(zhuǎn)程序兩個方面。

• 此信息來自-深圳市金華杰電子有限公司-作者：dgxhdzcl.com.cn深圳市金華杰電子有限公司集二十年豐富的研發(fā)、設(shè)計及生產(chǎn)經(jīng)驗，公司擁有一批專業(yè)從事生產(chǎn)、銷售及維修的技術(shù)人員，可全方位多途徑為國內(nèi)外光學(xué)鍍膜行業(yè)，光盤行業(yè)，光磁存儲行業(yè)，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)，平板及光電顯示器行業(yè)，分析儀器及科研行業(yè),真空工業(yè)應(yīng)用等行業(yè)提供上等服務(wù)。