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真空計量、質(zhì)譜和檢漏的一些進展（檢漏儀維修）
日期：2024-11-05 21:43
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摘要：真空計量、質(zhì)譜和檢漏的一些進展（檢漏儀維修）
自從2002年召開中國真空學會第十一屆質(zhì)譜分析和檢漏會議和中國計量測試學會第六屆真空計量會議( 桂林會議)以來，國內(nèi)外真空計量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域均有新進展。
2003年9月22-24日在北京由國際測量聯(lián)合會(International Measurement confederation簡稱IMKO)壓力和真空測量技術(shù)委員會(TC 16) **在我國北京召開了國際壓力和真空測量會議，參加會議的代表來自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國等十五國，共發(fā)表論文5 4篇，己由中國計量出版社用英文出...
真空計量、質(zhì)譜和檢漏的一些進展（檢漏儀維修）
自從2002年召開中國真空學會第十一屆質(zhì)譜分析和檢漏會議和中國計量測試學會第六屆真空計量會議( 桂林會議)以來，國內(nèi)外真空計量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域均有新進展。
2003年9月22-24日在北京由國際測量聯(lián)合會(International Measurement confederation簡稱IMKO)壓力和真空測量技術(shù)委員會(TC 16) **在我國北京召開了國際壓力和真空測量會議，參加會議的代表來自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國等十五國，共發(fā)表論文5 4篇，己由中國計量出版社用英文出版了三白余頁的會議論文集。由蘭州物理所、消華大學和中國計量院執(zhí)筆、 綜述中國真空計量進展的論文作為大會綜述報告在全體會議上發(fā)表，中文全文已刊登在“ 真空與低溫”2004年**期。
2004年6月28日一7月2日在意大利的威尼斯城召開了第十六屆國際真空會議〔IVC-16)/第十二屆國際固體表面會議 (ICSS-12)/第八屆國際納米尺度科學與技術(shù)會議(NANO-8)和第十七屆意大利真空會議( AIV -17) 。這二年一屆的國際盛會有1500人參加，設(shè)有真空科學與技術(shù)專門分會場，共發(fā)表口頭和張貼真空論文108篇，一定程度上反映了真空計量、質(zhì)譜和檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀和新進展。
近兩年有機會訪問了歐美的一些相關(guān)工廠和研究單位，包括德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究所(PTB)和意大利計量研究院(IMG C)的真空校準實驗室、Varian公司在意大利和美國的工廠和美國AMETEK和Extrel兩家生產(chǎn)四極質(zhì)譜計的公司。
本文將根據(jù)已了解的國內(nèi)外真空計量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域的新進展，結(jié)合參加兩個相關(guān)國際會議與對歐美的訪問作簡要綜述，由于了解情況有限，希望起到 “ 拋磚引玉”的作用。
一、真空計量
質(zhì)量控制和加入WTO促進了我國對計量和標準化的重視， 有些部門已經(jīng)加大了對真空計量的投入，出現(xiàn)了一些可喜的進展和新成果。
我國已生產(chǎn)的各種類型真空計數(shù)量和質(zhì)量均有提高。
德國PTB的K. Jousten博士在IVC-16上做了“在分子流區(qū)域氣體密度非均勻性的測量與計算”報告，國際標準化組織 (ISO)/真空技術(shù)(TC112)秘書處現(xiàn)設(shè)在PTB,意大利IMGC的Calcartell博士綜述了意大利真空技術(shù)的發(fā)展，該所在電容薄膜規(guī)(CDG)校準和修正擬合模型等方面長期開展了深入的研究。
韓國、墨西哥等國都加大了對真空計量等的投入。
真空計集成實現(xiàn)寬量程的發(fā)展趨勢引人注目， 目前己有寬達13個量程的這類商品出現(xiàn)。
我國在加強基礎(chǔ)研究、提高真空計量和發(fā)展新品種、更積極的參加ISO/ TC 112活動等方面均需做山更大的努力。
二、質(zhì)譜分析
國內(nèi)外對真空質(zhì)譜重要性的認識進一步得到確認， 國內(nèi)需求急劇增長，取得了多項有重要價值的成果。
雖然我國曾在真空質(zhì)譜儀器研究方面敲步甚早， 當前與大、中型質(zhì)譜儀器的開發(fā)停滯不前的形勢一樣， 國產(chǎn)分壓強質(zhì)譜計的研究和生產(chǎn)已落入低谷 盡管還有些單位在困難條件下堅持工作。這一嚴峻形勢*近已開始引起注意。
四極質(zhì)譜計系列仍是主流產(chǎn)品， 激烈的竟爭促使了性能價格比的提高，在擴展質(zhì)量范圍、提高質(zhì)量分辨本領(lǐng)、擴展樂強范圍( Extended Pressure Range),微型化以及縮小體積減輕重量等方面不斷取得新的突破。
小型色譜飛行時間質(zhì)譜計(TOFMS)的發(fā)展取得了顯著的進展。
小型色譜/質(zhì)譜(GC/MS)儀器的新進展值得重視。
分壓強質(zhì)譜計的校準日益受到重視，但目前尚未達到標準化的程度，我國在這方面早已起步，取得了階段性成果。
在國內(nèi)真空質(zhì)譜分析需求急劇增長和國外產(chǎn)品競相進入我國市場的條件下，既是嚴峻的挑戰(zhàn)，也有良好的發(fā)展機遇。
三、檢漏
檢漏已成為保證真空、常壓以及高壓器件和系統(tǒng)密封性必不可少的實用技術(shù)， 在迅速發(fā)展確保密封性的系統(tǒng)下 程中成為*重要的檢測手段， 我國已有日益廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域， 還有很多尚待開發(fā)的處女地。
在國際上各種類型先進的檢漏儀器不斷進入國內(nèi)市場的同時，我國檢漏儀器的開發(fā)和生產(chǎn)從來沒有中斷過，己經(jīng)穩(wěn)定的保持了民族工業(yè)的發(fā)展， 并不斷進取， 采用先進的技術(shù)。
每次年會上都可高興地見到新產(chǎn)品和新型號儀器問世，涉及的廠家和單位也不斷擴大。
各種類型的質(zhì)譜檢漏儀，特別是便攜式儀器在10-12~10-11Pa m 3/s檢漏靈敏度范圍內(nèi)穩(wěn)步提高的情況下 ，主要朝便于實用的方向繼續(xù)發(fā)展。與此同時，為確保小型真空儀器的高可靠性和長壽命， 采用累積法實現(xiàn)10 -14 ~10-11 Pa m 3/s，超靈敏度檢漏系統(tǒng)和技術(shù)正在發(fā)展，我國這方向的研究也不斷取得新進展。
為滿足工業(yè)檢翻日益增長的需求， 非質(zhì)譜型工業(yè)業(yè)檢漏儀器的發(fā)展*值得引起國內(nèi)的密切注意。 利用石英滲氮及其溫度效應(yīng)和小型離子泵作為檢測元件的工業(yè)便攜式檢測儀器成為IVC-16會議上真空儀器發(fā)展的新亮點，至少己有加熱石英毛細管和利用硅基片上沉積Si02膜，通過半導體工藝制成Si02窗和熱柵的兩種商品批聳生產(chǎn)，具有工業(yè)檢漏的靈敏度，可在大氣壓下檢漏。
自從2002年召開中國真空學會第十一屆質(zhì)譜分析和檢漏會議和中國計量測試學會第六屆真空計量會議( 桂林會議)以來，國內(nèi)外真空計量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域均有新進展。
2003年9月22-24日在北京由國際測量聯(lián)合會(International Measurement confederation簡稱IMKO)壓力和真空測量技術(shù)委員會(TC 16) **在我國北京召開了國際壓力和真空測量會議，參加會議的代表來自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國等十五國，共發(fā)表論文5 4篇，己由中國計量出版社用英文出版了三白余頁的會議論文集。由蘭州物理所、消華大學和中國計量院執(zhí)筆、 綜述中國真空計量進展的論文作為大會綜述報告在全體會議上發(fā)表，中文全文已刊登在“ 真空與低溫”2004年**期。
2004年6月28日一7月2日在意大利的威尼斯城召開了第十六屆國際真空會議〔IVC-16)/第十二屆國際固體表面會議 (ICSS-12)/第八屆國際納米尺度科學與技術(shù)會議(NANO-8)和第十七屆意大利真空會議( AIV -17) 。這二年一屆的國際盛會有1500人參加，設(shè)有真空科學與技術(shù)專門分會場，共發(fā)表口頭和張貼真空論文108篇，一定程度上反映了真空計量、質(zhì)譜和檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀和新進展。
近兩年有機會訪問了歐美的一些相關(guān)工廠和研究單位，包括德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究所(PTB)和意大利計量研究院(IMG C)的真空校準實驗室、Varian公司在意大利和美國的工廠和美國AMETEK和Extrel兩家生產(chǎn)四極質(zhì)譜計的公司。
本文將根據(jù)已了解的國內(nèi)外真空計量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域的新進展，結(jié)合參加兩個相關(guān)國際會議與對歐美的訪問作簡要綜述，由于了解情況有限，希望起到 “ 拋磚引玉”的作用。
一、真空計量
質(zhì)量控制和加入WTO促進了我國對計量和標準化的重視， 有些部門已經(jīng)加大了對真空計量的投入，出現(xiàn)了一些可喜的進展和新成果。
我國已生產(chǎn)的各種類型真空計數(shù)量和質(zhì)量均有提高。
德國PTB的K. Jousten博士在IVC-16上做了“在分子流區(qū)域氣體密度非均勻性的測量與計算”報告，國際標準化組織 (ISO)/真空技術(shù)(TC112)秘書處現(xiàn)設(shè)在PTB,意大利IMGC的Calcartell博士綜述了意大利真空技術(shù)的發(fā)展，該所在電容薄膜規(guī)(CDG)校準和修正擬合模型等方面長期開展了深入的研究。
韓國、墨西哥等國都加大了對真空計量等的投入。
真空計集成實現(xiàn)寬量程的發(fā)展趨勢引人注目， 目前己有寬達13個量程的這類商品出現(xiàn)。
我國在加強基礎(chǔ)研究、提高真空計量和發(fā)展新品種、更積極的參加ISO/ TC 112活動等方面均需做山更大的努力。
二、質(zhì)譜分析
國內(nèi)外對真空質(zhì)譜重要性的認識進一步得到確認， 國內(nèi)需求急劇增長，取得了多項有重要價值的成果。
雖然我國曾在真空質(zhì)譜儀器研究方面敲步甚早， 當前與大、中型質(zhì)譜儀器的開發(fā)停滯不前的形勢一樣， 國產(chǎn)分壓強質(zhì)譜計的研究和生產(chǎn)已落入低谷 盡管還有些單位在困難條件下堅持工作。這一嚴峻形勢*近已開始引起注意。
四極質(zhì)譜計系列仍是主流產(chǎn)品， 激烈的竟爭促使了性能價格比的提高，在擴展質(zhì)量范圍、提高質(zhì)量分辨本領(lǐng)、擴展樂強范圍( Extended Pressure Range),微型化以及縮小體積減輕重量等方面不斷取得新的突破。
小型色譜飛行時間質(zhì)譜計(TOFMS)的發(fā)展取得了顯著的進展。
小型色譜/質(zhì)譜(GC/MS)儀器的新進展值得重視。
分壓強質(zhì)譜計的校準日益受到重視，但目前尚未達到標準化的程度，我國在這方面早已起步，取得了階段性成果。
在國內(nèi)真空質(zhì)譜分析需求急劇增長和國外產(chǎn)品競相進入我國市場的條件下，既是嚴峻的挑戰(zhàn)，也有良好的發(fā)展機遇。
三、檢漏
檢漏已成為保證真空、常壓以及高壓器件和系統(tǒng)密封性必不可少的實用技術(shù)， 在迅速發(fā)展確保密封性的系統(tǒng)下 程中成為*重要的檢測手段， 我國已有日益廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域， 還有很多尚待開發(fā)的處女地。
在國際上各種類型先進的檢漏儀器不斷進入國內(nèi)市場的同時，我國檢漏儀器的開發(fā)和生產(chǎn)從來沒有中斷過，己經(jīng)穩(wěn)定的保持了民族工業(yè)的發(fā)展， 并不斷進取， 采用先進的技術(shù)。
每次年會上都可高興地見到新產(chǎn)品和新型號儀器問世，涉及的廠家和單位也不斷擴大。
各種類型的質(zhì)譜檢漏儀，特別是便攜式儀器在10-12~10-11Pa m 3/s檢漏靈敏度范圍內(nèi)穩(wěn)步提高的情況下 ，主要朝便于實用的方向繼續(xù)發(fā)展。與此同時，為確保小型真空儀器的高可靠性和長壽命， 采用累積法實現(xiàn)10 -14 ~10-11 Pa m 3/s，超靈敏度檢漏系統(tǒng)和技術(shù)正在發(fā)展，我國這方向的研究也不斷取得新進展。
為滿足工業(yè)檢翻日益增長的需求， 非質(zhì)譜型工業(yè)業(yè)檢漏儀器的發(fā)展*值得引起國內(nèi)的密切注意。 利用石英滲氮及其溫度效應(yīng)和小型離子泵作為檢測元件的工業(yè)便攜式檢測儀器成為IVC-16會議上真空儀器發(fā)展的新亮點，至少己有加熱石英毛細管和利用硅基片上沉積Si02膜，通過半導體工藝制成Si02窗和熱柵的兩種商品批聳生產(chǎn)，具有工業(yè)檢漏的靈敏度，可在大氣壓下檢漏。
為保證檢漏儀器的可靠性， 微流量(漏率)的校準及參考漏孔的研制都取得了持續(xù)穩(wěn)定的進展，這方面國內(nèi)取得了可喜的進展，靈敏度檢翻的實時校準方法有白己的特色。
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