Leybold德國萊寶磁懸浮分子泵維修-Oerlikon MAGW3200 TURBO pump保養(yǎng)-萊寶質(zhì)譜儀機械泵維修
Oerlikon萊寶MAGW3200磁懸浮TURBO pump保養(yǎng)，Leybold MAG W 3200德國萊寶磁懸浮分子泵可任意角度安裝，Leybold MAG W 3200磁懸浮分子泵耐腐蝕適用于所有半導(dǎo)體工藝，如蝕刻，CVD，PVD等，Oerlikon MAG W 3200萊寶磁懸浮分子泵進氣法蘭口DN320/ISO-F，出氣法蘭口DN40KF,抽速可達到3200L/s，轉(zhuǎn)速為28800 rpm，Leybold MAG W 3200對應(yīng)的控制器為：Leybold MAG.DRIVE digital
Leybold MAG W 3200德國萊寶磁懸浮分子泵典型的應(yīng)用：
蝕刻
空間模擬
CVD，PVD
半導(dǎo)體工藝
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Oerlikon MAG W 3200萊寶磁懸浮分子泵參數(shù)：
Oerlikon MAG W 3200萊寶磁懸浮分子泵抽速：
Oerlikon MAG W 3200萊寶磁懸浮分子泵尺寸：
